真空磁控溅射论文

真空磁控溅射镀膜设备中罗茨泵的保养与维护
论文摘要真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能,真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置,可以有效降低罗茨泵的日常自主...