微立体光刻论文

微立体光刻压电陶瓷的形变预测与补偿研究
论文摘要现有微立体光刻技术制备的压电陶瓷普遍存在密度小、性能低、几何精度难以精确控制等问题。本文通过设计陶瓷浆料各组分之间的成分比例,控制光固化参数和热处理工艺,建立几何形变的...