导读:本文包含了竖直微镜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:透镜,微机,论文。
竖直微镜论文文献综述
杨艺榕[1]（2003）在《转动竖直微镜的硅微机械光开关研究》一文中研究指出本论文提出一种1×2扭转竖直微镜光开关，微镜采用(110)硅腐蚀制备而成，执行器采用变间隙的电容驱动器，光耦合采用球透镜进行，并制作1×2光开关器件。 直接光纤耦合的微机械光开关损耗较大，但光束准直后再耦合可以降低损耗。本文采用球透镜光纤进行光耦合，仔细分析了影响耦合效率的各种因素。高反射率薄膜是微镜的一个组成部分，对金属薄膜的反射特性进行了计算，金和铝是很好的反射膜镀层，饱和反射率达到97％，膜厚200nm。在入射角不大的情况下，偏振相关的反射率相差很小。 角度偏转是光操作的一种方式，在光开关和光衰减器有广泛的应用。针对固定间隙的电容，把固定电极做成曲线形状，有效低降低悬臂梁的吸合电压。对执行器的静电压响应和频率特性进行了模拟计算，在此基础上制作的执行器驱动竖直微镜对光信号进行偏转。在器件的光学耦合部分设计的固定弹簧有助于光纤的固定。 以(110)硅为衬底，用湿法腐蚀技术制作的表面平整光洁的竖直镜面，是光器件的关键之一，采用深反应离子刻蚀技术制作的执行器，对微镜进行小角度偏转从而控制光信号的切换，测得的执行器吸合电压为69V和73V，与模拟的结果较为吻合。 研制的光开关样品测出损耗为4～5dB，隔离度为45dB。测试结果表明，光开关器件能够实现光切换的功能。 本论文的工作作为“光通信用微光机电关键技术”的一部分成果获得了“2003年上海市科学技术进步二等奖”。(本文来源于《中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）》期刊2003-12-18）
竖直微镜论文开题报告
竖直微镜论文参考文献
[1].杨艺榕.转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D].中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）.2003
论文知识图
