110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制

论文摘要

设计制作了用于1～110 GHz On-wafer散射参数测试系统自校准的Ga As基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1 GHz～110 GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性。

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类型: 期刊论文

作者: 袁思昊,刘欣萌,黄辉

关键词: 计量学,共面波导,波段,砷化镓,校准件,散射参数

来源: 计量学报 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 工业通用技术及设备

单位: 中国计量科学研究院

分类号: TB973

页码: 760-764

总页数: 5

文件大小: 1667K

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标签：计量学论文;  共面波导论文;  波段论文;  砷化镓论文;  校准件论文;  散射参数论文;