• 高折射率稳定硅表面的低能电子衍射图案分析

    高折射率稳定硅表面的低能电子衍射图案分析

    一、高指数稳定硅表面的低能电子衍射图分析(论文文献综述)许以栩[1](2018)在《利用表面钝化方法和表面缓冲层调节表面吸附的性质》文中指出作为一门具有很强应用背景的学科,表面...
  • 多光束干涉全息法制作衍射光学元件

    多光束干涉全息法制作衍射光学元件

    赖成军[1]2003年在《多光束干涉全息法制作衍射光学元件》文中指出衍射光学元件是目前光学应用系统中非常重要的一个部分,它能实现传统光学许多难以达到的目的和功能,因而在国际上都普遍受到重视。本论文从一种新的衍射光学元件设计思想出发,摆脱了传统的二元光学元件制作方法,使用简单的全息照相技术,通过两光束...
  • 厚层抗蚀剂成像特性研究

    厚层抗蚀剂成像特性研究

    肖啸[1]2003年在《厚层抗蚀剂成像特性研究》文中研究表明从二十世纪九十年代以来,微电子机械系统(MEMS)发展迅速,促进了其加工方法的不断完善和进步。近年来,作为制作优质大高宽比微结构的厚层抗蚀剂光刻术以其工艺简单、制作成本低等优点受到国际上广泛重视。随着MEMS的迅速发展,其结构愈来愈复杂,高...
  • 飞秒脉冲光束通过自由空间、色散介质和透镜的传输特性研究

    飞秒脉冲光束通过自由空间、色散介质和透镜的传输特性研究

    刘志军[1]2003年在《飞秒脉冲光束通过自由空间、色散介质和透镜的传输特性研究》文中研究指明随着飞秒脉冲激光技术的迅速发展,实验室已经能够产生几个光周期和接近一个光周期的超短脉冲。这类超短脉冲光束的传输变换引起了广泛的研究兴趣。本论文对飞秒脉冲光束通过自由空间、线性色散介质和单透镜的传输特性作了深...