微纳制造论文

基于光学调制的飞秒激光加工技术研究
论文摘要飞秒激光凭借其超短脉冲宽度、超高峰值功率等优点,在微纳制造领域具有广泛的应用。传统的双光子聚合加工技术是通过单点扫描实现,它具有加工精度高、加工过程便于控制等优势,但受...