微电铸论文

太赫兹金属器件电铸工艺中电流密度研究
论文摘要微电铸工艺是太赫兹全金属光栅器件成型的关键工序。金属光栅质量取决于电铸工艺中金属离子沉积的均匀性,而电铸槽阴极附近电流密度的分布直接影响金属离子沉积的均匀性。在阳极与阴...