四探针法论文

结合图像分析的四探针测试系统研究
刘新福[1]2003年在《结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究》文中研究表明随着科学技术的飞速发展，作为计算机的基础元件——集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)发展。图形日益微细化，电路尺寸不断缩小，这一方面要求芯片材料的直径不断增大以提高生产率，另一方面对晶体材料的完美性...