罗茨泵论文

300MW汽轮机真空系统节能改造
论文摘要本文主要介绍了江苏徐矿综合利用电厂的真空系统节能改造实施方案,方案是在原有两台并联的真空泵基础上加装一台罗茨水环真空泵组,通过两种泵的结构形式及异常事件分析,并进行节能...
真空磁控溅射镀膜设备中罗茨泵的保养与维护
论文摘要真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能,真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置,可以有效降低罗茨泵的日常自主...