跨尺度论文

“纳米制造的基础研究”重大研究计划结题综述
论文摘要国家自然科学基金委员会重大研究计划"纳米制造的基础研究"历时8年于2018年完成结束评估。重大研究计划实施过程中,在基础理论方法、关键技术、核心仪器...
数字掩模投影光刻的极限分辨率研究
论文摘要研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同...