浸没式光刻论文

基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计
论文摘要为满足浸没式光刻照明系统对掩模面高均匀性和不同照明模式的要求,对照明系统中的照明模式变换器进行了研究。采用衍射光学元件(DiffractiveOpticalElemen...