隔振平台论文

用于MEMS器件的隔振平台研究
论文摘要外界环境振动对MEMS器件的性能有着非常重大的影响,是造成MEMS器件产生输出误差甚至失效的主要因素。本文分析对比了MEMS器件主要隔振方法,提出了一种微结构化的单层及...