氮化硅波导论文

基于SiN纳米线波导的悬空耦合器的研究
论文摘要硅光子模斑耦合器是硅基集成芯片中的极小尺寸器件与外部传输信号的光纤相连接的重要器件,在集成光路的应用中有着不可或缺的地位,它能够将来自单模光纤的光信号在光纤的输出端以较...