磁控共溅射论文

论文摘要采用多靶磁控共溅射技术的单靶功率可调特点,在Zr-4合金基底上,通过调节O2流量制备出（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层。利用X射线衍射仪（XRD）...