沉积温度论文

论文摘要采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了红外材料硫化锌(ZnS),利用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅里叶红外光谱仪(F...

论文摘要目的改善GH4169合金的表面性能,制备摩擦学性能优良的复合薄膜。方法采用离子源辅助直流磁控溅射技术制备NiCrAlY/Ag复合薄膜,研究沉积温度分别为60、120、1...