沉积温度对ZnS材料结构和红外光学性能的影响

论文摘要

采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了红外材料硫化锌(ZnS),利用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对ZnS样品的组分、相结构、表面形貌和光学性能进行表征分析。研究结果表明:沉积温度较低时,ZnS为立方结构,随着沉积温度升高,有少量六方结构ZnS生成;ZnS中原子比Zn/S大于1,Zn原子含量随沉积温度的升高逐渐减少,提高沉积温度可抑制ZnH2的生成,过高的沉积温度则降低了ZnS的光学性能;沉积温度为620℃时,ZnS表面微孔少,光学性能良好。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 缪彦美,子光平,应飞飞,王侃,吴绍华

关键词: 化学气相沉积法,硫化锌,沉积温度

来源: 陶瓷学报 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 云南驰宏国际锗业有限公司,云南北方驰宏光电有限公司

分类号: TQ132.41

DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2019.03.010

页码: 330-333

总页数: 4

文件大小: 1667K

下载量: 95

相关论文文献

• [1].沉积温度及热处理对低压化学气相沉积氮化硅涂层的影响（英文）[J]. 无机材料学报 2019(11)
• [2].沉积温度对氧化锌薄膜结构和光学性能的影响[J]. 中南民族大学学报(自然科学版) 2016(02)
• [3].沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能[J]. 中南民族大学学报(自然科学版) 2009(04)
• [4].沉积温度对GaAs薄膜微观结构的影响[J]. 大连海事大学学报 2009(02)
• [5].铝膜沉积温度对铝诱导结晶化多晶硅薄膜性能的影响[J]. 电子器件 2011(04)
• [6].沉积温度及其变化对金刚石膜内黑色缺陷产生过程的影响[J]. 材料热处理学报 2010(03)
• [7].电沉积温度对碘化亚铜薄膜光学性质的影响(英文)[J]. 发光学报 2013(06)
• [8].沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响[J]. 稀有金属材料与工程 2017(05)
• [9].沉积温度对铝化物涂层相结构与微观形貌的影响[J]. 腐蚀与防护 2013(11)
• [10].沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响[J]. 稀有金属材料与工程 2018(08)
• [11].沉积温度对多孔钛表面仿生制备羟基磷灰石的影响[J]. 材料科学与工艺 2017(06)
• [12].沉积温度对碳芯SiC纤维微观结构的影响[J]. 宇航材料工艺 2011(04)
• [13].沉积温度对磁控溅射生长SrRuO_3薄膜结构和性能的影响[J]. 人工晶体学报 2010(01)
• [14].沉积温度对TiN/SiN_x多层膜结构及力学性能的影响[J]. 长春大学学报 2010(06)
• [15].热解碳沉积温度对增强石墨力学性能的影响[J]. 粉末冶金材料科学与工程 2014(06)
• [16].沉积温度对IMO透明导电薄膜光电性能的影响[J]. 真空科学与技术学报 2010(06)
• [17].原生CVD ZnS 6.2μm处吸收峰的消除及机理分析[J]. 人工晶体学报 2010(02)
• [18].沉积温度对纳米ZrN涂层结构及性能的影响[J]. 厦门大学学报(自然科学版) 2010(05)
• [19].沉积温度对TiB_2涂层的组成与形貌的影响[J]. 航空材料学报 2009(03)
• [20].沉积温度对中频磁控溅射制备含氢非晶碳膜表面形貌和力学性能的影响[J]. 长春理工大学学报(自然科学版) 2009(04)
• [21].沉积温度对热舟蒸发MgF_2薄膜性能的影响[J]. 强激光与粒子束 2008(03)
• [22].不同沉积温度下AZO透明导电薄膜的性能研究[J]. 热加工工艺 2017(22)
• [23].不同温度制备氟化镱薄膜的工艺研究[J]. 光学仪器 2018(03)
• [24].沉积温度对Gd掺杂CeO_2电解质薄膜生长及电学特性的影响[J]. 无机材料学报 2008(05)
• [25].沉积温度和碳纳米管对CVD SiC涂层微观形貌的影响[J]. 粉末冶金材料科学与工程 2010(05)
• [26].沉积温度对纳米碳管-铁粒子复合物的制备及吸波性能影响（英文）[J]. 新型炭材料 2020(04)
• [27].沉积温度对直流磁控溅射TiN薄膜结构和表面形貌的影响[J]. 南华大学学报(自然科学版) 2017(04)
• [28].空气冷却器系统铵盐沉积及影响因素研究[J]. 石油炼制与化工 2012(12)
• [29].沉积温度对N掺杂Cu_2O薄膜生长及光学特性的影响[J]. 功能材料 2011(10)
• [30].沉积温度突变导致金刚石膜中大量黑色缺陷形成的孪晶模型[J]. 航空材料学报 2010(02)

标签：化学气相沉积法论文;  硫化锌论文;  沉积温度论文;