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    论文摘要室温下采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上沉积了氧化锌(ZnO)薄膜,研究了溅射功率对ZnO薄膜表面形貌和光学性能的影响.X射线衍射测试结果表明,所制备的薄膜均为纤锌矿结...
  • 退火温度对Cr掺杂ZnO薄膜的微结构与机械性能的影响研究

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    论文摘要本研究利用射频磁控溅镀法在玻璃基板上制备3at.%的Cr掺杂ZnO薄膜,再以300℃~500℃温度退火处理25mins,并探讨了退火温度对Al掺杂ZnO薄膜的微观结构与...
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