压电微定位台论文

压电微定位台的率相关动态迟滞建模及参数辨识
论文摘要针对压电微定位台固有的率相关迟滞非线性严重限制其微定位精度的问题,研究了基于Backlash-Like的Hammerstein率相关迟滞非线性模型及其建模方法。以改进的...