微机电系统谐振器论文

I~2形原子力显微镜探针设计优化
论文摘要针对基于微机电系统（MEMS）技术的I2形原子力显微镜（AFM）探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏...