微波微等离子体线性阵列论文

论文摘要本文基于微带线谐振器理论和耦合模理论,采用13单元微波微等离子体线性阵列源,研究了不同真空度、输入功率等对微波微等离子体线性阵列激励特性的影响。实验结果表明,微波微等离...