外延生长论文

SrTiO3衬底表面外延生长TiCN薄膜工艺参数优化及疏水疏油性能
论文摘要采用中频反应磁控溅射技术在SrTiO3衬底上外延生长TiCN薄膜,通过正交试验方案、单因素试验方案以及性能测试来探究磁控溅射工艺参数对薄膜结构和性能的影响,并且优化了工...
不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响
论文摘要氮化铌(NbN)由于其较高的超导转变温度、较窄的转变宽度以及良好的稳定性一直被广泛地应用于低温超导器件中.因此,生长高质量的超导NbN薄膜是制备高性能薄膜超导器件的关键...