铜铝掺杂氧化锌论文

一种新型透明导电（Cu,Al）∶ZnO薄膜的结构和性能研究
论文摘要利用FJL560CI2型磁控溅射仪制备了铜铝共掺杂氧化锌的（Cu,Al）∶ZnO薄膜样品。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜和分光光度计测试研究了氧分压对薄膜微观结构和光...