双探针论文
![13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体特性的对比研究]()
13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体特性的对比研究
论文摘要射频感性耦合等离子体源可以在较低的射频电压下产生密度较高的等离子体、独立控制等离子体密度和入射到基片台上的离子能量,且不存在电极干扰。近年来,被广泛应用于半导体芯片刻蚀...![13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究]()
13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究
论文摘要通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56MHz和2MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低...
