射频磁控溅镀论文

论文摘要本研究利用射频磁控溅镀法在玻璃基板上制备3at.%的Cr掺杂ZnO薄膜,再以300℃～500℃温度退火处理25mins,并探讨了退火温度对Al掺杂ZnO薄膜的微观结构与...