热丝化学气相沉积论文

论文摘要HIT电池高效率核心技术之一为本征非晶硅薄膜钝化硅片。本文采用热丝化学气相沉积（HWCVD）法制备a-SiOx:H,采用SintonWCT-120少子寿命测试仪、光谱型...

论文摘要以CH3COCH3和H2为反应气源,利用热丝化学气相沉积（HFCVD）方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金（WC-6wt%Co）基体上沉积金刚石涂层。利用X射...