翘曲度论文

论文摘要温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力。为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理。使用现有"两步法"退火工艺,由于其退火温度...

论文摘要砷化镓（GaAs）是继硅之后被研究最深入、应用最广泛的半导体材料,被广泛应用于光电子和微电子领域。2015年年底,中国电子科技信团公司第四十六研究所陆续突破了4英寸SI...