纳米复合论文

直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射TiSiN涂层的结构与性能比较
论文摘要目的对比研究HiPIMS和DCMS技术对涂层组织、结构与性能的影响,为不同磁控溅射技术制备硬质涂层提供理论依据与实验指导。方法在相同功率密度下,通过HiPIMS和DCM...