铝掺杂氧化锌薄膜论文

论文摘要研究了退火温度对原子层沉积（ALD）生长的铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600℃退火后,X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°...

论文摘要为研究退火气氛对氧化锌（AZO）薄膜光电性能的影响,采用溶胶-凝胶法在石英基片上制备铝掺杂AZO薄膜。利用X射线衍射、场发射电子扫描显微镜对薄膜的物相结构和形貌进行表征...