基体偏压论文

基体偏压对高功率脉冲磁控溅射AlCrN涂层结构及其性能的影响
论文摘要为了获得性能更加优异的刀具涂层,采用高功率脉冲磁控溅射技术（HiPIMS）在Ar/N2混合气氛下制备了AlCrN涂层,研究了不同基体偏压对于涂层的结构和力学性能的影响....