金属基器件论文

微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进
论文摘要微机电系统(MEMS)金属基器件经常存在电镀镍层厚度不均匀的问题,采用大型有限元分析软件ANSYS对电镀过程的电场分布进行建模分析。探讨了片内辅助阴极的线宽及其与微结构...