激光增强化学气相沉积论文

激光增强CVD法制备柱状晶结构锆酸镧涂层及其性能研究
论文摘要使用La（dpm）3和Zr（dpm）4为前驱体,氧气为反应气体,通过激光增强化学气相沉积法制备了烧绿石结构的锆酸镧（LZ）涂层。研究了激光功率、以及前驱体比例对锆酸镧涂...