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  • 基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用

    基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用

    论文摘要高精度的三维微纳制造技术是现代光电子学和微纳光子学发展的重要基础之一,是实现下一代微纳光子集成器件的重要前提.纳米尺度的剪纸和折纸技术由于能够实现丰富的三维形变,正发展...
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