工件表面形貌论文

超声辅助金刚石线锯切割单晶硅复合加工机理及试验研究
论文摘要随着电子芯片行业的高速发展,对单晶硅切片的效率和质量要求同时大幅提升,现有锯切工艺已无法满足要求。目前大量学者通过试验研究发现了超声振动辅助金刚石线锯对于切割硬脆材料具...