高功率脉冲反应磁控溅射论文

高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能
论文摘要通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240W)对薄膜的...