高功率脉冲磁控溅射论文

直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射TiSiN涂层的结构与性能比较
论文摘要目的对比研究HiPIMS和DCMS技术对涂层组织、结构与性能的影响,为不同磁控溅射技术制备硬质涂层提供理论依据与实验指导。方法在相同功率密度下,通过HiPIMS和DCM...
三靶共溅射纳米复合Cr-Al-Si-N涂层的制备及摩擦学性能研究
论文摘要目的利用高功率脉冲磁控溅射技术离化率高、溅射离子能量高等优点,在Cr-Al-N涂层中添加Si元素研制a-Si3N4包裹nc-（Cr,Al）N的纳米复合涂层,通过改变反应...
基体偏压对高功率脉冲磁控溅射AlCrN涂层结构及其性能的影响
论文摘要为了获得性能更加优异的刀具涂层,采用高功率脉冲磁控溅射技术（HiPIMS）在Ar/N2混合气氛下制备了AlCrN涂层,研究了不同基体偏压对于涂层的结构和力学性能的影响....