高功率磁控溅射论文

高功率脉冲磁控溅射制备的TiN薄膜应力释放及其结合稳定性研究
论文摘要目的探究高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）制备的氮化钛（TiN）薄膜在自然时效过程中,应力、薄膜/基体结合性能随时间的变化规律。方法采用高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）技...