干法刻蚀论文

论文摘要蛾眼减反射微纳结构在光学窗口、显示器件和太阳能电池等方面的应用越来越广泛,逐渐成为国内外研究的热点问题。随着理论仿真和制备工艺的不断发展,宽谱段、宽角度、环境适应能力强...

论文摘要优化设计了基于金属掩模的全息光刻微纳光栅制备工艺方案,基于GaAs衬底利用全息光刻和感应耦合等离子体（ICP）干法刻蚀技术制备出周期为860nm的光栅图形。将磁控溅射生...