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分子束外延法论文

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    分子束外延制备金单原子台阶样品的工艺参数改进研究

    论文摘要利用常规分子束外延开展单晶金原子台阶标准样品的制备,制备的样品通过扫描隧道显微镜(STM)测试发现,原子台阶数量较少且台阶高度均匀性较差。本课题针对分子束外延制备系统的...
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