分子层沉积论文

原子层沉积技术在含能材料表面修饰中的应用研究进展
论文摘要介绍了原子层沉积技术的原理和特点,并对比传统物理及化学气相沉积薄膜制备工艺,总结了原子层沉积技术在含能材料合成及表面修饰改性方面所具有的薄膜厚度精确可控、工作温度低和大...