电子束光刻论文

论文摘要直径50纳米,间距100纳米的系列铂颗粒催化阵列已经通过电子束光刻制备成功,催化剂颗粒制备在氧化铝表面。该催化剂用来催化甲醇空气混合气体的燃烧反应,通过与其他催化剂的比...