等离子体串联共振论文

甚高频容性放电中电磁效应与等离子体均匀性研究
论文摘要由于容性耦合等离子体（CCP）具有诸多独特的优势,因此被广泛应用于半导体工业中的介质层刻蚀与薄膜沉积工艺。特别地,双频或多频电源驱动放电已被证实是一种实现离子通量和离子...