衬底温度论文

论文摘要采用射频磁控溅射方法,在石英衬底上制备CuCrO2薄膜。通过X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）、紫外吸收光谱以及电导率的测定,表征不同衬底温度沉积薄膜样品...

论文摘要以金属Ti和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备Ti掺杂ZnO（TZO）透明导电薄膜,探究了衬底温度对薄膜光电性能的影响。采用扫描电...

论文摘要在不同衬底温度（298、373和473K）下,采用磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备了Co56Ta35B9非晶合金薄膜。利用纳米压痕技术研究了非晶合金薄膜的蠕变行为。结果表...