超声喷雾热解法论文

论文摘要采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上,在衬底温度为440℃,喷嘴到衬底距离为4cm,掺杂原子（Zn∶Mg∶Sn）比例为97.6∶2∶0.4,载气流量为0.8L/min的固...