掺杂薄膜论文

论文摘要采用溶胶-凝胶法在普通玻璃衬底上制备了不同Fe3+掺杂量的TiO2薄膜。通过X射线光电子能谱仪（XPS）、X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM）、UV-...

论文摘要采用中频双极脉冲（IFBP）和射频（RF）磁控溅射分别在（100）取向的单晶Si衬底上沉积C掺杂h-BN（h-BN:C）薄膜,随后在95%Ar+5%H2混合气氛中进行7...