论文摘要
为了研究激光诱导下光学薄膜的热破坏和热致应力破坏过程,基于热传导理论、材料力学、热弹性力学等理论知识,建立激光诱导单层光学薄膜有源热传导方程和应力应变平衡方程的数学模型,运用积分变换法得到薄膜内温度和热应力的解析解。以SiO2薄膜、Al2O3薄膜和类金刚石（Diamond-Like Carbon,DLC）薄膜为例,利用MATLAB分别对其温度场和热致应力场进行计算和仿真。结果表明,不同薄膜由于热物性参数不同,其温度分布和热致应力分布也略有差异,三种薄膜均未发生热损伤,且SiO2薄膜和Al2O3薄膜也未发生热致应力损伤,但DLC薄膜可能发生热致应力损伤。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 曹乾坤,苏俊宏
关键词: 光学薄膜,热传导,温度场,热致应力场,仿真
来源: 光学与光电技术 2019年01期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 物理学,工业通用技术及设备,无线电电子学
单位: 西安工业大学光电工程学院
基金: 国家自然科学基金(61378050)资助项目
分类号: TN249;O484
DOI: 10.19519/j.cnki.1672-3392.2019.01.014
页码: 75-80+90
总页数: 7
文件大小: 2824K
下载量: 178
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