论文摘要
半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248nm、ArF-193nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件主要以在深紫外波段具有优异传输特性的氟化钙（CaF2）材料为主。针对光源研发过程中涉及的光学元件与激光相互作用时会发生损伤的问题,从CaF2材料自身的物化特性、激光辐射特性以及激光与材料相互作用产生损伤的机理三个方面,综合分析了CaF2材料抗紫外激光研究的发展情况,比较了不同应用背景下CaF2材料的激光损伤特性,总结归纳了提高光学元件激光损伤阈值的措施和方法。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 宗慧雯,赵江山,宋兴亮,郭馨,王倩,李慧,周翊
关键词: 激光光学,准分子激光,氟化钙,激光损伤,损伤阈值
来源: 激光与光电子学进展 2019年19期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 物理学,化学,无线电电子学
单位: 中国科学院光电研究院投影光学室,北京市准分子激光工程技术研究中心,中国科学院大学
基金: 国家重大科技专项(2013ZX02202)
分类号: O614.231;TN247
页码: 26-35
总页数: 10
文件大小: 794K
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