论文摘要
本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10 s)内微泵输送液体的质量大小;并对工作特性进行相关分析,总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、驱动电压和驱动频率之间的关系。结果表明,在相同的驱动条件下,液体黏度越大,压电微泵输送的流量越小;在固定的驱动电压下,当驱动频率为泵膜的谐振频率时压电微泵输送的流量最大,高于或低于驱动频率时输送的流量越来越小;在固定的驱动频率下(谐振频率),压电微泵输送的流量随驱动电压的升高而增加。研究结果为压电微泵的优化设计和实际应用提供了依据。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 韩熠,毛明健,李廷华,陈李,吴俊,朱东来,徐溢
关键词: 微机电系统,微泵,流量测试,压电,黏度,有阀
来源: 电子器件 2019年01期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 机械工业
单位: 云南中烟工业有限责任公司技术中心,重庆大学新型微纳器件与系统重点学科实验室,光电技术及系统教育部重点实验室
基金: 新型烟草产品开发前沿技术研究及应用项目(2017XY01),中央高校基本科研项目(106112017CDJPT120002)
分类号: TH38
页码: 37-40
总页数: 4
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