石墨烯纳机电谐振式传感器研究进展

石墨烯纳机电谐振式传感器研究进展

论文摘要

石墨烯是一种新型的二维纳米材料,因独特的电学和力学性质而备受关注。近年来,一系列针对石墨烯谐振特性及其应用的研究得到广泛开展,已显示出石墨烯在谐振式纳机电传感器领域巨大的应用潜力。简要描述了石墨烯优异的物理性能和目前主要的几种石墨烯制备工艺现状,重点介绍了近期石墨谐振器的实验、理论研究以及石墨烯谐振器在压力、加速度和质量等物理量传感器方面的应用进展,其中主要围绕石墨烯谐振敏感结构、敏感机理和研究方法等方面进行评述,并分析了石墨烯谐振式传感器研发所面临的挑战和发展前景。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 硅微谐振式传感器基础理论
  •   1.1 谐振敏感机理
  •   1.2 谐振敏感结构设计
  •   1.3 谐振敏感材料
  • 2 石墨烯谐振式传感器研究进展
  •   2.1 石墨烯材料基本特性
  •   2.2 石墨烯谐振特性及谐振器研究
  •   2.3 石墨烯制备工艺研究
  •     2.3.1 氧化还原法
  •     2.3.2 外延生长法
  •     2.3.3 化学气相沉积法
  •   2.4 几种石墨烯NEMS谐振式传感器介绍
  •     2.4.1 石墨烯谐振式压力传感器
  •     2.4.2 石墨烯谐振式质量传感器
  •     2.4.3 石墨烯谐振式加速度传感器
  • 3 石墨烯谐振式传感器技术难点
  •   1) 工艺层面
  •   2) 整体结构设计
  • 4 结论与展望
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 樊尚春,朱黎明,邢维巍

    关键词: 石墨烯,谐振,纳机电,传感器,综述

    来源: 计测技术 2019年04期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技

    专业: 材料科学,自动化技术

    单位: 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,工信部量子传感技术重点实验室

    基金: 国家自然科学基金资助项目(61773045,61721091),长江学者和创新团队发展计划资助(IRT_16R02)

    分类号: TB383.1;TP212

    页码: 1-11

    总页数: 11

    文件大小: 4614K

    下载量: 260

    相关论文文献

    • [1].半导体所等在多层石墨烯物理性质研究方面取得新进展[J]. 中国粉体工业 2012(02)
    • [2].美利用电子成像技术分析石墨烯[J]. 中国粉体工业 2012(06)
    • [3].全球首条石墨烯生产线明年8月投产 潜力巨大[J]. 中国粉体工业 2012(06)
    • [4].天奈科技开发出碳纳米管与石墨烯复合锂电池助导剂[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [5].广西大学破解石墨烯制备难题 可大批量生产粉体材料[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [6].新的视觉体验 变色石墨烯泡沫创建“机械像素”[J]. 中国粉体工业 2016(06)
    • [7].不完美石墨烯的“华丽蜕变”[J]. 中国粉体工业 2016(06)
    • [8].石墨烯改变未来有望从这五大领域开始[J]. 中国粉体工业 2016(06)
    • [9].德阳将打造“中国西部石墨烯产业先导基地”[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [10].科学家找到大规模生产纳米石墨烯薄片新方法[J]. 中国粉体工业 2012(02)
    • [11].英国石墨烯相关产业研发呈下降趋势[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [12].青岛:以标准化为引领 促进石墨烯产业规范发展[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [13].业内专家:石墨烯大规模商业化应用还需10到15年[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [14].丰台园将打造国际石墨烯产业创新中心[J]. 中国粉体工业 2016(03)
    • [15].川大成功制备石墨烯橡胶纳米复合材料[J]. 中国粉体工业 2015(04)
    • [16].石墨烯能否成为“开启梦幻未来的钥匙”?[J]. 中国粉体工业 2016(05)
    • [17].美研究人员开发新型微波法制备高质量石墨烯[J]. 中国粉体工业 2016(05)
    • [18].浙大制得宏观石墨烯长纤维[J]. 中国粉体工业 2012(01)
    • [19].构造石墨烯纳米结构的新进展[J]. 中国粉体工业 2009(05)
    • [20].推开石墨烯的产业之门[J]. 中国建材资讯 2017(01)
    • [21].石墨烯将承载未来变革产业领域希望[J]. 中国粉体工业 2015(04)
    • [22].工信部:将组织实施“石墨烯+”行动 构建贯通上下游的产业链[J]. 中国粉体工业 2016(05)
    • [23].资本热炒石墨烯 何难题困扰产业发展?[J]. 中国粉体工业 2016(05)
    • [24].神奇的石墨烯[J]. 泰州科技 2011(09)
    • [25].英国欲建造领军全球的石墨烯研究中心[J]. 中国粉体工业 2013(02)
    • [26].石墨烯的研究进展[J]. 中国粉体工业 2013(04)
    • [27].石墨烯产学研相结合 产业规模化即将形成[J]. 中国粉体工业 2013(04)
    • [28].欧盟20亿欧元资助石墨烯工程[J]. 中国粉体工业 2013(02)
    • [29].石墨烯坎坷的产业化之路[J]. 中国粉体工业 2013(02)
    • [30].石墨烯产业化步伐悄然加快[J]. 中国粉体工业 2013(02)

    标签:;  ;  ;  ;  ;  

    石墨烯纳机电谐振式传感器研究进展
    下载Doc文档

    猜你喜欢