论文摘要
为了提高石英晶体微天平(QCM)的检测灵敏度,提出了一种具有氧化铟锡(ITO)电极结构的QCM。利用有限元分析软件在QCM芯片电极区采用密度等效法实现计算量的简化,在通过电极尺寸优化得到具有理想能陷效应的QCM的基础上,采用控制磁控溅射的气体压强、工作电压、电流等方法,得到具有导电性好,平滑度高,透光性优良的ITO电极。经振荡频率测试及质量灵敏度分析计算表明,ITO电极的QCM频率稳定性良好(频率变化仅3 Hz),质量灵敏度是金电极QCM的1.5倍。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 朱琎,尹艳平,马澄,马国军
关键词: 氧化铟锡,石英晶体微天平,质量灵敏度,有限元分析,能陷效应
来源: 压电与声光 2019年06期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学
单位: 江苏科技大学电子信息学院智慧海洋信息感知与传输技术重点实验室
基金: 国家自然科学基金资助项目(61804068),江苏省研究生创新工程基金资助项目(KYCX19_1686)
分类号: O646.5;O613.72
页码: 861-865
总页数: 5
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