论文摘要
为了区分超光滑表面上方存在的微小粒子、亚表面缺陷、微粗糙度三种缺陷产生的散射光,并得到能够探测这三种缺陷的最佳区域,将双向反射分布函数(Bidirectional Reflection Distribution Function,BRDF)与琼斯矩阵结合,给出了三种缺陷在ss、sp、ps、pp四种偏振状态下的偏振系数。在此基础上,模拟和分析了三种缺陷在四种偏振状态下与散射方位角的关系。结果表明:利用p偏振入射光引起的p偏振散射光能将这几种缺陷区分开。根据三种缺陷与散射方位角变化关系的不同,给出了三种缺陷的最佳探测区域及实现方法。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 解格飒,王红军,王大森,田爱玲,刘丙才,朱学亮,刘卫国
关键词: 散射,双向反射分布函数,缺陷类型,最佳探测区域
来源: 红外与激光工程 2019年11期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学
单位: 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,中国兵器科学院宁波分院
基金: 总装备部项目(JCKY2016208A001),西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45),陕西省科技计划项目(2019JM-373),激光与物质相互作用国家重点实验室基金(SKLLIM1703)
分类号: O436.3
页码: 158-164
总页数: 7
文件大小: 2728K
下载量: 196
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标签：散射论文; 双向反射分布函数论文; 缺陷类型论文; 最佳探测区域论文;